Nanometrová magie: Stroje ASML kreslí budoucnost

Klíčová role litografie ve světě mikročipů

Náš nedávný článek týkající se výroby mikročipů, ekosystému a výhledu tohoto sektoru jasně nastínil, že tyto společnosti budou benefitovat z nastupujícího trendu umělé inteligence a nových technologií. Mikročipy jsou totiž dnes součástí téměř každého chytrého zařízení. Zmínili jsme, že skuteční králové tohoto sektoru se zabývají technologií zvanou litografie, bez které by výroba čipů nebyla možná.

Litografii, také známou jako fotolitografii, si lze představit jako projekční systém, který je složen z několika důležitých kroků:

1. Ošetřený křemíkový plátek: před vložením do litografického přístroje musí být křemíkový plátek ošetřený o fotorezist a o polovodivé, vodivé či izolační materiály.
2. Promítnutí vzoru: do stroje se vloží maska, což je přesná šablona, která obsahuje obvod čipu a jeho charakteristiky. Následně je promítnuto silné ultrafialové světlo, které projde maskou a přenese vzor na plátek. Důležitou komponentou je i optická soustava, která musí vzor zmenšit a zaostřit, jelikož vzor je dle slov ASML asi 4x větší než je požadovaná velikost obvodu na křemíkovém plátku.  
3. Otiskování po celé ploše: máme vytisknutý jeden mikročip. Litografický stroj následně křemíkový plátek posouvá a tiskne další kopie. Celý křemíkový plátek je ve finále pokryt stovkami až tisíci obvodů čipů.
4. Vyvolání vzoru: stejně jako u klasické fotografie se i zde vyvolá plátek. Osvětlená místa fotorezistu se buď rozpustí, nebo ztvrdnou. Výsledkem je jemný vzor nanesený na plátek křemíku.